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儀器特點(diǎn)：
Ø 多參數(shù)測(cè)量：Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc；
Ø 高精度電感傳感器；
Ø GAUSS濾波器；
Ø 符合ISO4287；
Ø 128×64 點(diǎn)陣OLED，黃字；
Ø 內(nèi)置鋰離子充電電池及充電控制電路，容量高、無(wú)記憶效應(yīng)，連續(xù)工作時(shí)間大于20小時(shí)；
Ø 機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，體積小，重量輕，使用方便；
Ø 具有自動(dòng)關(guān)機(jī)、記憶及各種信息；
Ø 可選配曲面?zhèn)鞲衅?、小孔傳感器、測(cè)量平臺(tái)、接長(zhǎng)桿等附件。
技術(shù)規(guī)格：
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測(cè)量參數(shù) |
Ra, Rz, Rq, Rt, Rp, Rv, Rc |
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測(cè)量范圍 |
±80um |
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顯示精度 |
±10% |
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示值變動(dòng)性 |
≤6% |
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測(cè)量精度 |
0.01um |
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傳感器
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類(lèi)型 |
電感式 |
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針尖半徑 |
5um |
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針尖材料 |
鉆石 |
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測(cè)試力 |
4mN(0.4gf) |
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測(cè)量單位 |
Um/uin |
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觸針角度 |
90 degree |
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導(dǎo)頭縱向半徑 |
45mm
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行程 |
6mm |
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驅(qū)動(dòng)速度 |
λ1: 取樣長(zhǎng)度=0.25mm, Vt=0.135mm/s
λ2: 取樣長(zhǎng)度 =0.8mm, Vt=0.5mm/s
λ3: 取樣長(zhǎng)度=2.5mm, Vt=1mm/s |
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電源 |
內(nèi)置充電鋰電池 |
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標(biāo)準(zhǔn)配置
l 主機(jī)x 1
l 校準(zhǔn)試塊 x 1
l 充電器（含數(shù)據(jù)線 x 1）
l 測(cè)試支撐板 x 1